ED20
卓上型精密塗布装置

卓上型精密塗布装置 ED20は、研究開発や試作に最適な、コンパクトな卓上型モデル(W500 x D800mm)です。X-Yステージを採用することで、XY軸の繰返し位置決め精度は±3μm以下を確保し、卓上型ロボットとしては業界最高クラスの精度を誇ります。

ツインエア式ディスペサー(フルファンクション、ベーシックファンクション)に加えて、ピエゾジェットディスペンサーやスクリューディスペンサー等、あらゆるディスペンサーを搭載できるため、試作用途で幅広く使用することができます。

トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージを搭載し、高精度塗布に不可欠なオートアライメントやワーク高さ測定機能を標準装備しています。微細塗布や液剤評価を行うための研究開発用実験機としても最適なモデルです。

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ED20

技術データ

 型式ED20
搭載ディスペンサーツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー
XYストロークX方向:200mm、Y方向:200mm(ステージ駆動)
XY 最大速度50mm/s
Z 最大速度30mm/s
 XYZ 繰返し位置決め精度±3μm
XYZ 駆動分解能1μm
搭載可能ワークサイズ200 x 200mm以下、t=6mm以下
搭載機器トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構
画像ソフトウェア機能描画データ作成機能、オートアライメント、DXFインポート機能等
オプション機構サイドビューカメラ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット
真空ポンプ、コンソールボックス、ステンレス製作業台
ユーティリティ電源100V x 700W、クリーンドライエア:0.5Mpa、真空
装置サイズ、重量W500 x D800 x H980mm 重量:100kg以下
    UV樹脂Φ200μmドット塗布(ED20+ツインエアー)

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