画像処理技術

なぜ画像解析技術が重要か?

塗布の高度化、微細化が進行する中、安定した塗布品質を実現するためには、塗布プロセス全体(ティーチング⇒ワーク位置認識⇒アライメント⇒塗布⇒検査⇒フィードバック)を最適化することが求められるため、高性能な画像処理ソフトウェアが不可欠となっています。

精密塗布専用の画像処理ソフトウェアの基本性能

  1. 塗布プログラムの作成
    ビジョンティーチングやDXFファイルインポートにより、複雑な塗布プログラムを簡単に作成できる。
  2. ワーク(塗布対象物)の画像認識
    小型化するワークの位置、形状を高速かつ正確に認識すること
  3. オートアライメント(塗布位置補正)
    ワークの画像認識+レーザー測長により、塗布位置を自動補正し、正しい位置に塗布を行う。
  4. 塗布状態をモニタリング(エンジニアリング・ラボ独自技術
    トップビュー、サイドビューにより、塗布状態をリアルタイムでモニタリングする。
  5. 塗布結果の検査、データベース化
    塗布寸法を計測し、写真・動画ファイル(トップビュー・サイドビュー)を保存する。

      

ED20+画像処理ソフト

ワークの画像認識+オートアライメント

トップビューカメラで撮像した画像を基に、ワークの特性に応じて、最適な認識方法を選択します。また、照明最適化等により、画像認識精度を向上させることがます。

  • テンプレートマッチング
    テンプレート画像(基準となる画像)と比較し、類似度が高い画像を抽出し、ワークの位置ズレ・傾きを認識します。
  • コーナー検出、エッジ検出
    画像の明るさ変化を検出し、ワークのエッジやコーナーを検出します
  • オートアライメント
    ワークの位置ズレ・傾きに対応し、塗布位置(X,Y,θ)を自動補正します。
  • レーザー測長による高さ補正
    ワークの高さをレーザーで測長(1点、任意3点、連続計測等)して、Z軸を自動補正することにより、ノズルとのクリアランスを一定に保ちます。

      

コーナー検出

トップビューとサイドビューカメラによるモニタリング+検査

エンジニアリング・ラボの独自技術であるトップビューカメラとサイドビューカメラを駆使することで、塗布品質を格段に向上することができます。

  • トップビューカメラ(エンジニアリング・ラボ独自技術
    ノズル同軸光学系により、真上からの塗布映像をリアルタイムで確認できるため、ドット径のばらつきやワーク上での液剤の広がりをモニタリングできます。
    また、線幅や2点間の距離等を簡易的に測定することができます。
  • サイドビューカメラ
    ノズルとワークのクリアランスを確認するとともに、着液状態をモニタリングすることができるため、条件出し作業を大幅に改善することができます。
    また、ワークの段差や突起も確認することができます。
  • 静止画・動画ファイル保存
    トップビューとサイドビューカメラの動画ファイルを保存することにより、トレーサビリティが容易となります。

トップビュー  サイドビュー

正方形塗布(幅50μm) トップビューとサイドビューの画像

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