高精細塗布装置 ESシリーズは、繰返し位置決め精度±2μm以下のX-Yステージを搭載した高精度仕様で、ウェハへのパターニング等、高精細塗布に最適なモデルです。

ツインエア式ディスペサー（フルファンクション）を標準搭載しており、トップビューカメラとサイドビューカメラにより、条件出しやモニタリング、検査等を容易に実施することができるため、微細なパターンニングを実現することができます。

ワークサイズに応じて、3種類の型式（ES10, ES12, ES30）をラインナップしており、ES30は８インチウェハに対応しており、自動ウェハ搬送ユニットと接続することも可能です。クリーンルーム仕様、FFU、ウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合したオプション仕様も充実しています。