ポリイミド、高粘度レジスト等をウェハ全面に均一なコーティング（ベタ塗り）が可能です。狙いの位置に必要量を塗布することができるため、スピンコーターに比べて、材料の使用量を大幅に削減できます。
また、ウェハ外周部のノッチを避けて、無駄のない塗コーティングが可能です。

ダイレベル塗布にも適用できますので、パワーデバイス、MEMS、超小型電子部品製造等の塗布工程に最適です。

適用製品：ツインエア

ウェハレベル塗布装置