MEMSはセンサーやアクチュエーターといった機械的要素を一つのウェハに組み込んだ微細な電気機械システムで、立体的な積層技術を用いたメカニカル機構が特長です。

ツインエア式ディスペンサーは、立体構造への微細塗布に適しています。Agペーストを幅60μmで微細に塗布することで、チップと基板をダイレクトに配線したり、キャビティ内部に導電性ペーストをφ100μm以下で塗布することができます。

適用製品：ツインエア

Agﾍﾟｰｽﾄでダイレクト配線