卓上型薄膜コーティング装置 LHシリーズは、スパイラルコーターを卓上型ロボットに搭載したコンパクトなコーティング装置です。
スパイラルコーターはナノレベル均一な薄膜形成が可能で、独自のスパイラル塗布技術により、凹凸面や曲面に均一なコーティングが可能です。
また、スピンコーターやエアスプレーに比べて、材料消費量を大幅に削減できるため、ランニングコストや環境負荷を大幅に低減します。
光学部品への遮光剤塗布、プロブスカイト太陽電池の薄膜形成、ウェハーへのレジスト塗布等、均一な薄膜形成に最適な卓上型コーティング装置です。

ワークサイズに応じて4種類のラインナップがあります。

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