ED20
卓上型精密塗布装置
卓上型精密塗布装置 ED20は、研究開発や試作に最適な、コンパクトな卓上型モデル（W500 x D800mm）です。X-Yステージを採用することで、XY軸の繰返し位置決め精度は±3μm以下を確保し、卓上型ロボットとしては業界最高クラスの精度を誇ります。
ツインエア式ディスペサー（フルファンクション、ベーシックファンクション）に加えて、ピエゾジェットディスペンサーやスクリューディスペンサー等、あらゆるディスペンサーを搭載できるため、試作用途で幅広く使用することができます。
トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージを搭載し、高精度塗布に不可欠なオートアライメントやワーク高さ測定機能を標準装備しています。微細塗布や液剤評価を行うための研究開発用実験機としても最適なモデルです。
技術データ
| 型式 | ED20 | |
|---|---|---|
| 搭載ディスペンサー | ツインエア式ディスペンサー、ピエゾジェットディスペンサー | |
| XYストローク | X方向：200mm、Y方向：200mm（ステージ駆動） | |
| XY 最大速度 | 50mm/s | |
| Z 最大速度 | 30mm/s | |
| XYZ 繰返し位置決め精度 | ±3μm | |
| XYZ 駆動分解能 | 1μm | |
| 搭載可能ワークサイズ | 200 x 200mm以下、t=6mm以下 | |
| 搭載機器 | トップビューカメラ、レーザー変位計、真空吸着ステージ、インターロック機構 | |
| 画像ソフトウェア機能 | 描画データ作成機能、オートアライメント、DXFインポート機能等 | |
| オプション機構 | サイドビューカメラ、ノズル洗浄ユニット、ノズル先端位置検出ユニット 真空ポンプ、コンソールボックス、ステンレス製作業台 | |
| ユーティリティ | 電源100V x 700W、クリーンドライエア：0.5Mpa、真空 | |
| 装置サイズ、重量 | W500 x D800 x H980mm 重量：100kg以下 | |
