全自動薄膜コーティング装置 は、スパイラルコーターを搭載した全自動薄膜コーティング装置です。
スパイラルコーターはナノレベル均一な薄膜形成が可能で、独自のスパイラル塗布技術により、凹凸面や曲面に均一なコーティングが可能です。
また、スピンコーターやエアスプレーに比べて、必要なエリアだけに薄膜塗布できるため、材料消費量を大幅に削減でき、ランニングコストや環境負荷を大幅に低減します。

拡張性豊かな様々なオプション機能を搭載することで、様々なワークサイズや形状、コーティングエリアに対応することができます。
・ワークのローダー／アンローダ、インライン対応
・ワーク反転、回転機構
・スパイラルの回転、チルト機構
・ノズル洗浄機構
・塗布材料供給、循環機構
・排気機構　等