全自動精密塗布装置

全自動精密塗布装置は、生産ライン向けの量産対応型インライン設備で、アプリケーションやワークサイズ等に応じて、「ツインエア式ディスペンサー」「ピエゾジェットディスペンサー」「スパイラルコーター」などを搭載した幅広いラインナップを提供しております。

また、クリーンルーム仕様やウェハ対応吸着ステージ等、半導体業界に適合した仕様にも対応できるため、ラインナップ機種以外にも、お客さまのご要望に応じた特注設備を製作することができます。